低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調(diào)、真空脫氣(鋼水處置)等懇求具有工作壓力高、排氣量大的低真空泵抽氣機(jī)組,這類低真空抽氣機(jī)組主泵常用往復(fù)式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣放射泵、水環(huán)泵、羅茨泵等。運(yùn)用的低真空抽氣機(jī)組還需根據(jù)被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求,配置必要的除塵器、單調(diào)罐等部件。
水蒸氣在緊縮過程中會(huì)凝結(jié)成水滴,并與泵混合構(gòu)成懸浮液,不只會(huì)使真空度降落,也能使泵腔與轉(zhuǎn)子生銹,破壞密封面,使泵的極限真空度降落。為此,防止水蒸氣對機(jī)械泵的污染很重要。防止的措施有:
(1 )選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵;
(2 )裝油分別器、離心式分別器或油水分別器,將混有水的機(jī)械泵油中止處置,處置過的油再流入泵中運(yùn)用;
(3 )運(yùn)用吸水性強(qiáng)的單調(diào)劑;
(4 )運(yùn)用液氮冷阱,不只能有效地吸附水蒸氣,同時(shí)還可以阻撓機(jī)械泵油向高真空室返流。
油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)污染與防治
油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)是運(yùn)用.普遍的真空系統(tǒng),其獲得真空度范圍為1.3×10-3 ~1.3×10-5 Pa。油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)構(gòu)成的各類真空裝置,長期運(yùn)用后,常見的缺點(diǎn)是真空度抽不上去,或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內(nèi)壁的油蒸氣污染、真空工藝過程各種污染物的污染有關(guān),防止的辦法是:
(1 )定期清洗真空室;
(2 )定期對油封機(jī)械真空泵和油金屬擴(kuò)散泵中止清洗。